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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 貸出中

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2019.12 -- 549.8

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市立 成人 /549.8//19 114763329 成人 貸出中 × iLisvirtual

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タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
副書名 ファブから検査まで製造装置を俯瞰する  
叢書名 図解入門 , Visual Guide Book
叢書副書名 How‐nual
著者 佐藤 淳一 ／著  
出版者 秀和システム
出版年 2019.12
ページ数 261p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(10版) 549.8
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
ISBN 4-7980-6037-8
ISBN13桁 978-4-7980-6037-8
価格 ¥2000

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